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SEMI E10 - 半導体製造装置の信頼性，有用性，整備性（RAM），利用性の定義와 測定のための仕様 -
Abstract
注意：本文書は， 2011年，全面的に書き換えられた。
本文書では，製造環境において半導体製造装置の信頼性，有用性，整備性（RAM），利用性の性能を測定する標準化された方法を提供して，装置のユーザとサプライヤ間の意見の交換に共通の基盤を確立している.
本書では，あらゆる装置状況および時間が必ずどこかに類別される6つの互いに相容れない唯一の基本的な装置状態を定義している.計画外다운타임と呼ばれる状態は，装置systemの「故障」状態と定義 される.本仕様での装置信頼性の測定は，装置の稼動に対する装置の故障の関係に重点を置いている.
ここで定義 される全 ての測定基準は，nonclastatrule，singrupaskrastatru(SPCT)，marchepaskrasstatーru(MPCT)内の装置モジュール，装置モジュールの所期のprosesset (IPS)よび마르치파스크라스타 ツール( MPCT )を含む装置Systemmに適用可能である.本文書は，装置モジュールレベルの性能の関数としてIPSの性能を初めて定義することにより， MPCTのためのRAM測定を取り扱う方法を定義している。提示している測定基準ごとに， IPSおよびMPCTに必要な特別な取り扱いをすべて定義している。
本文書는 次の基本的な測定基準を定義する:
信頼性（ 신뢰성 ） —故障間の平均時間(MTTF:平均故障時間)および故障間の平均saicruを含む。
有用性（유효성 ） —合計のアップタイム，運転のアップTIME，装置依存のアップタイム，およびサプライヤ依存のアを含む。
整備性（ 보수성 ） —修理のための平均時間(MTTR:平均修理時間) ，予備保守（実施）の平均時間，오후라인の平均時間，総故障率および減失率を含む。
利用性（ 이용성 ） —合計の利用性 および運転の利用性を含む.
本文書に含まれる関連資料では, MTBFの不確実性の測定および信頼性の向上と低下の測定のコンセプトを扱っている。
참조 SEMI 표준 (별도 구매)
SEMI E35 — 반도체 제조 장비의 소유 비용(COO) 메트릭 계산 가이드
SEMI E58 — ARAMS(Automated Reliability, Availability, and Maintenanceability Standard): 개념, 동작 및 서비스
SEMI E79 — 장비 생산성의 정의 및 측정을 위한 사양
SEMI E116 — 장비 성능 추적 사양
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