SEMI E5 - SEMI 장비 표준2 메시지 내용 -

Abstract

이 표준은 정보 및 제어 글로벌 기술 위원회에서 기술적으로 승인되었습니다. 이 에디션은 2013년 6월 4일에 글로벌 감사 및 검토 소위원회의 출판 승인을 받았습니다. 2013년 8월에 www.semiviews.org 및 www.semi.org에서 볼 수 있습니다. 이전에 출판된 2012년 7월.

SEMI 장비 통신 표준 파트 2(SECS-II)는 지능형 장비와 호스트 간에 교환되는 메시지 해석에 대한 세부 사항을 정의합니다. 이 사양은 일본 전자 산업 발전 협회 장비 통신 위원회 12와 협력하여 개발되었습니다.

SEMI E4, 장비 통신 표준(SECS-I)과 완전히 호환되는 것이 이 표준의 의도입니다. 또한 대체 메시지 전송 프로토콜과의 호환성을 허용하려는 의도이기도 합니다. 메시지 전송 프로토콜 요구 사항의 세부 사항은 § 6에 포함되어 있습니다.

개별 장비에 대한 최소한의 지식만으로 일부 일관된 호스트 소프트웨어를 구성할 수 있는 세부 수준으로 메시지를 정의하는 것이 이 표준의 의도입니다. 장비는 호스트에 대한 최소한의 지식만으로 구성될 수 있습니다.

표준에 정의된 메시지는 IC 제조에 필요한 가장 일반적인 활동을 지원합니다. 표준은 또한 표준 메시지에서 다루지 않는 활동을 지원하기 위해 장비별 메시지의 정의를 제공합니다. 특정 활동은 호스트의 공통 소프트웨어로 처리할 수 있지만 장비의 전체 ​​기능을 지원하려면 장비별 호스트 소프트웨어가 필요할 수 있습니다.

SECS-II는 SECS-I와 같은 메시지 전송 프로토콜을 사용하여 장비와 호스트 간에 교환되는 메시지에 형식과 의미를 부여합니다.

SECS-II는 메시지 형태로 장비와 호스트 간에 정보를 전달하는 방법을 정의합니다. 이러한 메시지는 기능이라는 특정 메시지를 포함하는 스트림이라는 활동 범주로 구성됩니다. 정보 요청 및 해당 데이터 전송이 이러한 활동의 ​​예입니다.

SECS-II는 항목 및 항목 목록이라는 항목으로 메시지 구조를 정의합니다. 이 구조는 메시지의 적절한 해석을 보장하기 위해 자체 설명 데이터 형식을 허용합니다.

메시지 교환은 트랜잭션 프로토콜이라는 메시지 처리 규칙 세트에 의해 관리됩니다. 트랜잭션 프로토콜은 모든 SECS-II 구현에 대한 몇 가지 최소 요구 사항을 지정합니다.

참조된 SEMI 표준

SEMI E4 — SEMI 장비 통신 표준 1 메시지 전송(SECS-I)

SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

SEMI E37 — 고속 SECS 메시지 서비스(HSMS) 일반 서비스

SEMI E148 — TS-Clock 개체의 시간 동기화 및 정의에 대한 사양

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