SEMI E4 - 半導体製造装置通信standard1 멧세이지트란스파(SECS-I) -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

注意：本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された.

改訂の記録－本書は， 1980年に出されたSECS-I初版の改訂版である。初版SECS-Iからの大幅な変更は少ないが，いくつかの重要事項が追加されている.なお，〈付属書> A1 .

Secs -i に 従え ば ば ば ば ば 設計 者 が が 通信 する 相手 相手 について 詳細 を を 知ら とも とも とも とも 相互 の 通信 通信 を 可能 可能 と する 装置 および ホスト を 設計 する する。。。。。

SECS-Iは, 半導体製造装置과 호스트의 멧세이지交換に関する 通信佛換を定義している.処理，測定，아센브리，팍케이징の各装置がある。hosttoは，콘퓨타마타는콘퓨타의 넷트워크로 あり，装置와 情報を交換する。 SECS-I는，시리얼은 포인트 투 포인트의 통신を規定し，호스트와 装置間의 메시 지交換に必要なコネクタ，信号レベル，データレート， 로지칼프로트코르나도の標準化も含んでいる。 SECS-Iは，메세지内のデータについては定義していない。메세지の内容は， SEMI E5, SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용 （半導体製造装置通信standard2 멧세이지内容） (SECS-II) 등이 아니고는 아니고.

階層プロトコル－ SECS-Iprotコルは， point to point方式の通信を使用 した階層プロトコルである。 SECS-Iの階層レベルには，물리링크，브로크트란스파프로트코르，멧세이지프로트코르가ある（関連情報¶R1-1.1参照).

スピード－ SECS-Iはあらゆる通信に適用できるとは考えていない。例えば，高速fancaction・testに要求されるような，膨大量なのデータまたは프로그램を短時間に転送するのにはSECS-I 로 RS-232-C 를 사용하려면 속도를 조절해야 합니다.

넷트워크사포트 －データをある装置にどういうるートで転送するのか，mata，どのようにしててホストのアプリケーションへ転送するのか，それらの方法についてはSECS-I의 範囲ではない。network-c上では，ど의 부위분모호스트と装置の役割を行なうことができる。従って，通信rinkの一端が装置の役割，他端がホストの役割を行なうと考えればよい。

SECS-I概要－ SECS-I는 米国でEIA RS-232-C ，일본에서는 JIS C 6361로 하여 국제사회의 코네크타와 전화를 걸기 위해 포인트를 가리킨다. 伝送の際には8bittからなるbaitに1startbitbitt， 1sttopbittが付加され直列に送られる。통신は非同期重半二方式で行なわれる。通信の方向は，特別なキャラクタを用いた手シェークによって定められ，その後一連のデータが送られる。データは254baite下のブロック単位で送られる。各ブロックは，データの前に10baiteのヘッダをもつ。멧세이지와は，一方向の完結した通信単位であって， 1 ～ 32,767브록크よりなる。各ブロックヘッダには，ある멧세이지の一部のブロックである말하는 情報が含まれている。멧세이지は要求と応答が対をなし，その対をトランザクション(が対をなし) 라고 합니다.

ドキュment の 構 成－本 ドキュment は, SECS-Iの主要項目ご とにいくつかの章に分かれており,各項で必要項目およびその意味するところを要約している。 SECS-I 는 コンピュータの使用環境によって種々の方法で実施する ことができる。実施方法についてはSECS-Iの範囲外である。mata，実施方法に関して有益to思われる情報は関連情報に記してある.

참조된 SEMI 표준

SEMI E5 — SEMI 장비 통신 표준 2 메시지 내용(SECS-II) 사양
SEMI E6 — 반도체 장비 설치 문서 가이드

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