SEMI E1.9 - 300 mm웨하카세트용 웨하카셋트의 장비 -

Abstract

本版は2011年12 月24日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2012年5月にwww. semiviews.org 는 www.semi.org 를 통해 1994년 7월 20일 이전 .

　

注意: 本文書は，編集上の修正を伴い，再承認された。

　

本standardは， IC製造工場において300mm径weーハの搬送および保管に使用されるカsettを規定する。これには，手動・自動両方の搬送用途と同様にproses装置におけるweーhanaの高速取り出しも含まれる.

　

本standardが意図しているのは，すべてのメカニカルインタフェースにておいて，모쥬르성토互換性を確保しながら，技術革新を妨げないよう最小レベルの仕様を定める ことである.本仕様におけるほとんどの要求事項は，最大および最小の寸法という形をとっており，表面仕様が要求されることはほとんどない。카셋트に対する메카니카루인타페스다けが規定されており，材料に対する要求事項やpartycrunaどの汚染限度は示され ていない.しかしながら，金属製や射出成型プラスチック製のカsetトの両方がstandadeードに適合して製造できるように，本standardは作成されている。

　

カsetトは次の構成部分と付加構造よりなる。 "†"印は取り外し不能な（nonrimーbabul）카셋트に必要な構成部分や構造を示す（カッコ内は個数を示す).

　

예시:

• 要求される構造

• 선택 사항

• 탑드메인 （ 1 ）

• 光学웨하센싱파스 （ 2 ）

• 로보틱 핸드링후란지(OPTION) （4）

• 탑카세트IDtag領域（option） （1）

• sidedmein（ 2mataは4 ）（必要な場合，前面に2 ，裏面に2 ）

• 10 mm 의 웨하피치노( 13 매타는 25 매용) 웨하사양 機構†

• 各前方sidedmein上の光学카셋트센싱홀( 1 )

• 前方右sidedmein上のカsettIDtag領域（option） （1）

• ウェーハ飛び出し防止機構（option）

• 各前方サイドマイン上の正五角形のサイドグリップピット（옵션） （2）

• 보톰드메인 （ 1 ）

• 光学웨하센싱파스 （ 2 ）

• 칼리아센싱팟드( 5 ) †

• 인포팟드 （ 4 ） †

• 폿드랏치핀호르 （ 1 ）

• 콘베야레이르 （ 2 ）

• フォークリフトピックアップ領域 ( 2 )

• 포크리후트핀호르( 2 )

• 키네마틱카프링핀과 연결 10mm 의 리도인(자율주행차심)を確保する機構( 3 ) †

• 키네마틱카프링핀과 연결15mm의 리드인(자율주행차)を確保する機構(옵션)(3)

• 보톰카세트IDtag領域(option) （1）

• その他の構造

• 水平方向のウェーハセングパス

• 엔드에페크타排除領域†

참조된 SEMI 표준

SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
SEMI E19 — SMIF(표준 기계 인터페이스)
SEMI E57 — 300mm 웨이퍼 캐리어를 정렬하고 지지하는 데 사용되는 키네마틱 커플링의 기계적 사양

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