SEMI E1 - 프라스틱크 오소비메탈의 오픈 웨하카리아의 기술 -

Abstract

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반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

本仕様は， 3inch ， 100mm ， 125mm ， 150mm we-haを加工処理する際に使用するPraschick および메탈웨하카리아の寸法上の要求事項を示す。mat， 200mm ウェーハカリアについて，仕様ではないが，関連情報を含む。

本仕様には，一般用과 自動搬送用の二種類がある.

一般用은 3 인치， 100 mm ， 125 mm ， 150 mm 의 웨하を扱우기본가이드라인으로 가능합니다.

自動搬送用은 は, we-hakaria와 automotive wer-haproses装置のintafeースの使用上の要求事項を満taすものである。

200mm 웨하사이즈

本仕様を満tastatume には，Cariaは所定の寸法内で製造しなければならず，製造者の指定する条件下の使用では，本仕様の範囲内で寸法的に安定していなければならない.

참조된 SEMI 표준 s(별도 구매)

없음.

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