SEMI D18 - FPD 기본 물 平搬送用 および保管用 カset 仕様 -

Abstract

本仕様は, Flat Panel Display Equipment Committee 에서 技術的に承認されたもので， North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである.現版は， 1998 년 8 월 15 일日にNorth American Regional Standards Committeeに承認されている。 1998年9月にまずwww.semi.orgで入手可能となり， 1999年2月発行に至る。

E

本文書는 2000 년 10 월에 フォーマットエラーのため編集上の修正が行なわれ，図5が変更되고.

　

本仕様は,

FPD製造装置で0.7 mm ～ 1.1 mm厚のgaras基板の水平搬送や保管に사용 가능한 카셋트について規定する。

　

本standardは，適切な仕様レベルを設定する ことを目的とし，すべてのメカニカルインタフェースにおいてモジュール化と互換性を確保しつつ，技術革新への制限を最小限にしようとするものである.本仕様では，目的とする基板の表面の条件をあmari制限せず，その基板の長さと幅を基準にして各寸法の最大値や最小値を定義する ことにより，ほとんりどの要求条件を代数的に表現している。카셋트のメカニカルインタフェースだけが規定されている.すなわち，材料に対する要求条件やmicroでの汚染の制限などは規定されていないない。ただし，本standaredは色々な設計や材料のカsettがこれに準拠して製造されるようにまとめている.

참조된 SEMI 표준

SEMI D3 — 평면 패널 디스플레이 기판의 품질 영역 사양
SEMI D5 — 평면 패널 디스플레이 기판용 표준 크기
SEMI D6 — 평면 패널 디스플레이 마스크 기판의 표준 가장자리 길이 및 두께
SEMI D9 — 평면 패널 디스플레이에 대한 정의

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