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SEMI D17 - FPD갤러스 기반 장비용 카셋트 사양 -
Abstract
本仕様は, Global Flat Panel Display – Equipment Committeeで技術的に承認されたもので， North American Flat Panel Display Committeeが直接責任を負うものである。現版は1999年12月15日North American Regional Standards Committee て承認された。 2000年1月にまずSEMI On Lineで入手可能になり, 2000年2月発行に至る。初版は1998年9発行。
本仕様は, FPDとしての処理をした基板を，その工程からdispraymeーカーへ，mataはprosesを施すユーザ間で輸送すのに用するカsettについて要求条件を選び出して規定する.
本文書は, SEMI D18 「FlattPaneldispray基板の水平搬送と格納に使用されるカsettの仕様」から関連する寸法データを取り入れている.
本standardは, krinnagaras基板とprosesを施した基板を，基板の完全性を損なわずに組織間輸送に使用する再使用可能なカsettoの仕様レベル合わせを目的とする。 このスタンダードは，変更の必要性を最低限に抑える適切な仕様レベルの設定をするものであり，同時に，搬送，自動要性に，搬送，自動 カsett操作mode，同様なロボット要素で基板が扱いやすくなること，との間の共通のメカニカルインタフェースにおいて모쥬르化と互換性をすすめるものである.
このスタンダードはその使用に関連したすべての安全問題を取り扱うことを意図していない.よび健康上実施すべき事柄を確立し，matata使用前に法規制やその他の制限への適用性を判断するものである.
참조된 SEMI 표준 SEMI D18 — 평면 패널 디스플레이 기판의 수평 운송 및 보관에 사용되는 카세트 사양
SEMI E15 — 공구 로드 포트 사양
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