SEMI C77 - 最小可測粒径が30nm에서 100nmの範囲にある液中particrucauntaの計数効率を求める試験方法 -

Abstract

本standared는 글로벌 액체 화학 기술 위원회 で技術的に承認されている。現版は2012年8 月30日，global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2012年9 月にwww.semiviews. org 에서 www.semi.org 로 연락할 수 있습니다.

　　

この文書は，最小可測粒径が30nm에서 100nmの範囲にある液中particrucauntaの計数効率を求めるための試験手順を提供する.

　

この文書は，粒子個数濃度が定量された試験粒子懸濁液を試料に用いた，液中partycrucawntaの計数効率試験の試験시스템を対象と수。

　

この文書では，液中partikrucauntaの計数効率試験の条件を定義する.

　

以下の内容をこの文書の対象範囲とする.

• 포리스치렌라텍스 (PSL) 粒子懸濁液の原液の質量濃度

流體，流量，圧力，体積， PSL 粒子個数濃度など，希釈率を求める要素，条件

被試験器(EUT) である液中parteycrucauntaの種類( 形式)

PSL 粒子の種類( 형상 )

試験記録書の記載内容

참조된 SEMI 표준

SEMI F63 — 반도체 공정에 사용되는 초순수 가이드
SEMI F104 — 초순수 및 액체 화학 물질 분배 시스템에 사용되는 구성 요소 평가를 위한 입자 테스트 방법 지침

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