SEMI C29 - 4.9% 완전화 케이素酸(10:1 V/V) 사양과 가이드라인 -

Abstract

本仕様과 가이드라인은 Global Process Chemicals Committeeで技術的に承認されたもので，North American Process Chemicals Committeeが直接責任を負うものである.현재 는 1999년 10월 17 일 North American Regional Standards Committee 에 て承認された。 2001 年2月にまずwww.semi.org で入手可能になり，2001年3月発行に至る。本文書は， SEMI C7.4 ， C8.4 ， C12.3を全面改訂したものであり，初版は1990年， 1992年，1995年にそれぞれ発行，前版は1999年6月発行。

 

本文書の目的は，半導体産業で使用される4.9%훗카이素酸に対する要求条件を標準化し，matataこれらのstandaーdoをsaporto トする試験手順を標準化する ことである。試験方法は，統計的に有効な結果を示している.本文書は，4.9%福化ケイ素酸（10:1 V/V）に対して要求が認められたグレードのgaidlineも示す。gaidlineの場合は，試験方法は統計的に有効となっていない場合がある.

 

本文書の範囲は半導体産業で用される4.9%福化ケイ素酸の全てのグレードである.

 

本standardは，その使用に関連した全ての安全問題を取り扱うことを意図していない.び健康上の作業方法を確立し，matata使用前に規制上の制限への適用性を判断するものである.

　

참조된 SEMI 표준

SEMI C28 — 불화수소산에 대한 사양 및 지침

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