SEMI C6. 3 - 파이프라인 가스로 해두는 그레이드20/0. -

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます｡

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

standardは， Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日，global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2011年11月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 는 1989년 부터 2003년 3 월까지 운영됩니다.

　

알림: 이 문서는 더 이상 글로벌 기술 위원회에서 지원하지 않습니다. SEMI C97로 대체되었습니다.

　

本書の目的は, (1) 20/0.2水素gassの最大許容partica lt 濃度を設定すること(2)その確認のための基準方法を記述することである。

　

本書は파이프라인を通して授受される水素gassにのみ適用される。シリンダ充填gasmataは液體状のgassには適用されない.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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