SEMI C6.2 - 파이프라인 가스로 하고 싶은 생각하는 그레이드20/0.02 -

개정: SEMI C6.2-93(1111 재승인) - 교체됨

개정

Abstract

알림: 이 번역본은 참조용 사본입니다. 영어 버전과 다른 언어로 된 번역본 사이에 차이가 있는 경우 영어 버전이 공식적이고 권위 있는 버전입니다.

免責事項:このSEMIスタンダードは,投票により作成された英語版が正式なものであり,日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。万が一英語と日本語とに差異がある場合には英語版記載内容が優先されます。

반 スタンダード スタンダード 日本語 スタンダード 版 を ご ご 利用 にあたって にあたって の の 注釈 を 本文 本文 の 末尾 に 記載 記載 し て おり ます ます ます ます 「す べき べき である である」 「し なければなら ない」について 等。。。。。

 

本standared는 Gases Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2011年9月12日,global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年11月にwww.semiviews.orgおよび www.semi.orgで入手可能となる.初版は1993年発行.前版は2002年11月発行。

 

알림: 이 문서는 더 이상 글로벌 기술 위원회에서 지원하지 않습니다. SEMI C97로 대체되었습니다.

 

この文書の目的は: (1) 20/0.02gレード酸素バルク供給gasに対する파티크루の最大許容濃度を設定し,(2)その確認のための参照方法の記述である。

 

この文書は파이프라인を通して授受される酸素gassにのみ適用される.シリンダ充填gassや液體状態の酸素gassには適用されない.

 

참조된 SEMI 표준

없음.

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