SEMI C3.54 - 시란(SiH4)의 가스 정밀 가이드 라인 -

Abstract

本standared는, global Gases Technical Committee で技術的に承認されている。現版は2011年9 月12日， global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。 2011年10月にwww.semiviews.orgおよびwww.semi.org 에서 入手可能となる. 初版は1997年発行.

　

注意: 本文書は, 2011年，barott投票により廃止が承認された.

　

シランは，自然性，引火性の無色のgasである.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.