SEMI C3.35 - 塩化水素(HCl)，品質99.997%의 仕様 -

Abstract

本standanardは， global Gases Committee で技術的に承認されている。現版は2009年9 月4日， global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 2009 年10 月にwww.semi.org で，そして2009年11月にCD-ROM で入手可能となる。 初版は1988年月発行，前版は2001 年11 月に発行された。

 

本standaredは， 2010年5月，誤りを訂正するため編集上の修正が行われた。 ¶ 7.4.4.4 に続く式3 が追加された。

本文書の目的は，半導体産業で用用される塩化水素( HCl )の仕様を提供する ことである.

　

참조된 SEMI 표준

없음.

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