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SEMI T15 - 治具IDの一般仕様 （コンセプト） -
Volume(s):
Traceability
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
本基準は、global Traceability Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee で2005年5 月20日に発行が承認された。 そして2005年7月にCD-ROMで入手可能となりました。
この仕様基準は、半導体製造工程で使用される治具に取り付けて、個々の治具を一義的に識別するための一般的なIDに関してです。
この基準は、半導体製造工程で使用される治具に取り付けられるIDの以下の内容を定義する。
- IDの種類
- データフォーマット
SEMI T12 — トレース治具および器具の仕様
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