{"product_id":"semi102-artificial-intelligence-for-thin-film-manufacturing-1","title":"SEMI102 薄膜製造のための人工知能","description":"\u003ctable width=\"759\" style=\"border-collapse: collapse; width: 569pt;\" data-mce-fragment=\"1\" data-mce-style=\"border-collapse: collapse; width: 569pt;\"\u003e\n\n\u003ccolgroup data-mce-fragment=\"1\"\u003e\u003ccol width=\"759\" style=\"width: 569pt;\" data-mce-fragment=\"1\" data-mce-style=\"width: 569pt;\"\u003e\u003c\/colgroup\u003e\n\n\u003ctbody data-mce-fragment=\"1\"\u003e\n\n\u003ctr height=\"282\" style=\"height: 211.5pt;\" data-mce-fragment=\"1\" data-mce-style=\"height: 211.5pt;\"\u003e\n\n \u003ctd width=\"759\" height=\"282\" class=\"xl18\" style=\"width: 569pt; height: 211.5pt;\" data-mce-fragment=\"1\" data-mce-style=\"width: 569pt; height: 211.5pt;\"\u003eこのコースでは、研究、開発、生産に対する機械学習と AI ベースのアプローチがどのようにクリーンルーム プロセスにメリットをもたらすかについて説明します。時間とともに変化する機器のパフォーマンスの AI ベースの特定、および現在必要なメソッドの結果に使用された以前のレシピの影響は、AI を使用してプロセスの変動性を低減する方法のほんの一部にすぎません。\u0026lt;br\u0026gt;\u0026lt;br\u0026gt;このコースはもともと 2020 年 8 月に記録され、現在は e ラーニング形式で提供されています。\u0026lt;br\u0026gt;\u0026lt;br\u0026gt;SEMI スタンダード PV および PV マテリアル中国合同 TC 支部 2020 年春季会議\u0026lt;br\u0026gt;このコースでは、機械学習と AI ベースの研究アプローチの方法について説明します、開発、生産はクリーンルームプロセスに利点をもたらします。時間とともに変化する機器のパフォーマンスの AI ベースの特定、および現在必要なメソッドの結果に使用された以前のレシピの影響は、AI を使用してプロセスの変動性を低減する方法のほんの一部にすぎません。\u0026lt;br\u0026gt;\u0026lt;br\u0026gt;コーネル大学のチームは、AI アプローチを適用して、移動するシャトルと接点の間のギャップを適切に制御する必要がある RF ウェイクアップ NEMS (Nano ElectroMechnical System) スイッチの開発に関わるリソグラフィーとエッチングのプロセスを最適化しました。リソグラフィーの結果を予測するためのデシジョン ツリー ベースの AI モデルについて報告します。\u0026lt;br\u0026gt;\u0026lt;br\u0026gt;この研究は、特徴抽出とモデリングに CD-SEM 画像を使用して、プラズマ エッチングとリソグラフィーと薄膜エッチングの組み合わせ予測に適用されています。プロセス変数。プロセスモデリング CAD ツールをトレーニングしてプロセス開発エクスペリエンスを向上させるための追加のアプローチが開発されています。\u003c\/td\u003e\n\n\n\u003c\/tr\u003e\n\n\n\u003c\/tbody\u003e\n\n\n\u003c\/table\u003e","brand":"SEMI Dev 2","offers":[{"title":"Default Title","offer_id":40330546020419,"sku":"bae175dd-e03c-47cd-9441-710022f6608f","price":4200.0,"currency_code":"JPY","in_stock":false}],"url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/semi102-artificial-intelligence-for-thin-film-manufacturing-1","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}