{"product_id":"s02900-semi-s29-guide-for-fluorinated-greenhouse-gas-f-ghg-emission-characterization-and-reduction","title":"S02900 - SEMI S29 - フッ素化温室効果ガス (F-GHG) 排出の特性評価と削減のためのガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、環境、健康、安全に関するグローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2012 年 6 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2012 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、製造装置 (ME) から排出されるフッ素化温室効果ガス (F-GHG) を特徴付けるためのガイダンスを提供します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、削減ツールの F-GHG 破壊または除去効率 (DRE) を特徴付けるためのガイダンスを提供します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書では、ME または削減ツールの排出削減のための継続的な改善計画についても取り上げます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eこのガイドが適用される温室効果ガス (GHG) は、CF \u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e 、C \u003csub\u003e2\u003c\/sub\u003e F \u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003e 、C \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e F \u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e 、cC \u003csub\u003e4\u003c\/sub\u003e F \u003csub\u003e8\u003c\/sub\u003e 、CHF \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003e 、SF \u003csub\u003e6\u003c\/sub\u003eおよび NF \u003csub\u003e3\u003c\/sub\u003eです。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eこのガイドは、ME からの F-GHG 排出特性評価に適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Arial\"\u003eこのガイドは、削減ツールからの F-GHG 排出特性評価に適用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドは、ME における化学反応による F-GHG の消費、残留物、副産物、または再結合の特性評価に適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドは、F-GHG DRE の削減ツール仕様に適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドは、少なくとも半導体、TFT-LCD、太陽光発電産業で使用することをお勧めします。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドには次のセクションが含まれています。\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e目的\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e範囲\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e制限事項\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e参照された規格および文書\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e用語\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e一般規定\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eベースラインレシピ\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e測定器\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eF-GHG排出量の測定と特性評価\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eF-GHG 排出特性評価のタイミングと頻度\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e報告\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e特徴付けられたデータの記録保持\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003eロードマップと継続的改善\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S29-0712 - 非アクティブ","offer_id":40234350477379,"sku":"6923","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_37912cdb-8373-47e1-bbb0-b6434753f3d8.png?v=1776702176","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/s02900-semi-s29-guide-for-fluorinated-greenhouse-gas-f-ghg-emission-characterization-and-reduction","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}