SEMI S28 - 針對預計イオン用於半導体生產設備の機器人與之安全指導方針 -

Abstract

本安全指導方針による全球環境、衛生及び安全技術委員会(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可、本版於2011年9月12日による全球審核與覆檢小組委員會核可、自2011年10月www.semiviews.org及びwww.semi.orgをご利用いただけます。

注意：段落標示為"註"者不屬於本指導方針の正式部分，更改または取代用不使用。

注意：在此指導方針中所稱「当該」條規約之一致性必須宣告與本文之一致性，所稱「可能」、「建議」、「首選」、「推薦」、「注意」又は「相關資訊」 「條款則並不必要宣告その一致性。

本安全指導方針針對預計統合至半導体生電気設備(SME)之承載埠與結晶圓運搬運裝卸機器人，提供能能與設計為基礎的安全考慮量。

本安全指導方針は、SEMI S2 の蓋の一般範疇に加えて、額外指示受載台結晶結晶輸送卸機器製造業者を提供しています。

本安全指導方針涵蓋預計整合至SME之承載切晶圓運搬運裝卸機器者の基本安全問題、ただし未適用安全指導方針與標準。

本安全指導方針於整合前提供安全評定指示受載埠與結晶圓搬運裝卸機器人。

本安全指導方針協助SME承載埠與結晶圓搬運裝卸機器設計師慎重慎重整合期間會產生的安全考慮量。

本安全指導方針指示承載埠與晶场搬出卸機器者提供商授与涉及統合者要求關於其完成SME系統安全評估之文件。

本安全指導方針適用於依提供商之意圖製造，並整合まで半導体製造設備之氣動與真空結晶圓搬送運裝卸機器人。

本安全指導方針適用時與前開式結晶圓傳送盒(FOUP)、標準機械介面(SMIF)傳送盒連接之承載埠與結晶圓匣，及び此類將統合至半導体生產設備者。

この安全指導方針には、工業機器の安全標準以外に付加される安全考慮量が含まれています。

本安全指導方針適用於獨立於中小企業外評価估之晶圓搬送運裝卸機器人與承載堠。

§8中の文件條款將適用於本安全指導方針發行後所售出之承載埠與晶圓運搬運裝卸機器人，無論其設計或開發日期為何。

本文には次の部分が含まれています：

1.目的

2.範疇

3.制限條件

4.參考標準與文件

5.專門用語

6.一般的な検討量

7. WHR(晶圓運搬運裝卸機器人)與承載埠之安全特性

8.供給整合者之資訊

参照されるSEMI規格

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)

SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様

SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様

SEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー/ローダーの仕様

SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様

SEMI E117 — レチクルロードポートの仕様

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン

SEMI S17 — 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン

SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

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