{"product_id":"s02800-semi-s28-半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン","title":"S02800 - SEMI S28 - 半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは、グローバル環境\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e衛生安全委員会で技術的に承認されている。現版は2011年9月12\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e日、グローバル監査審査小委員会\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eにて発行が承認された\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e。 semiviews.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eおよび\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003ewww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003eで入手可能となる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは、半導体製造装置（ SME ）への統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットに関する、一連の性能および設計安全基準を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは、SEMI S2の一般的な範囲を超えたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの製造業者に対して追加のガイダンスを提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインでは、SMEへの統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットにとって本質安全性の問題のうち、産業用ロボットに適用される他の安全ガイドラインおよび基準で考慮されていない可能性がありますない問題を扱う。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは，統合される前のロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの安全性評価に関するガイダンスを提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの設計者が，SMEへの統合に際して安全上の考慮事項を予想する助けとなる。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの供給ヤに対して，インテグレータによる完了した中小企業システムの安全性評価に必要な文書の内容に関する指針を示します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" face=\"MS PMincho\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e \u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー\/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS\/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー\/ローダーの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI E117 — レチクルロードポートの仕様\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e \u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S17 — 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cp class=\"StdsText\" style=\"MARGIN:\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-FAMILY:\" arial\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont\u003eSEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cbr\u003e\u003cfont\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e ","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S28-1011 - 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