SEMI S28 - 半導体製造装置用ロボットおよびロードポートの安全ガイドライン -

Abstract

本安全ガイドラインは、グローバル環境衛生安全委員会で技術的に承認されている。現版は2011年9月12日、グローバル監査審査小委員会にて発行が承認された。 semiviews.orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。

本安全ガイドラインは、半導体製造装置（ SME ）への統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットに関する、一連の性能および設計安全基準を提供する。

本安全ガイドラインは、SEMI S2の一般的な範囲を超えたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの製造業者に対して追加のガイダンスを提供する。

本安全ガイドラインでは、SMEへの統合が意図されたロードポートおよびウェーハハンドリングロボットにとって本質安全性の問題のうち、産業用ロボットに適用される他の安全ガイドラインおよび基準で考慮されていない可能性がありますない問題を扱う。

本安全ガイドラインは，統合される前のロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの安全性評価に関するガイダンスを提供する。

本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの設計者が，SMEへの統合に際して安全上の考慮事項を予想する助けとなる。

本安全ガイドラインは，ロードポートおよびウェーハハンドリングロボットの供給ヤに対して，インテグレータによる完了した中小企業システムの安全性評価に必要な文書の内容に関する指針を示します。

参照されるSEMI規格

SEMI E1.9 — 300 mm ウェーハの輸送および保管に使用されるカセットの機械仕様

SEMI E19.4 — 200 mm 標準メカニカル インターフェイス (SMIF)

SEMI E62 — 300 mm フロントオープニング インターフェース機械規格 (FIMS) の仕様

SEMI E63 — 300 mm ボックス オープナー/ローダーとツール標準 (BOLTS-M) インターフェイスの機械仕様

SEMI E92 — ツール相互運用性規格 (BOLTS/Light) に準拠した 300 mm の軽量およびコンパクトなボックス オープナー/ローダーの仕様

SEMI E100 — 6 インチまたは 230 mm レチクルの輸送および保管に使用されるレチクル SMIF ポッド (RSP) の仕様

SEMI E117 — レチクルロードポートの仕様

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン

SEMI S17 — 無人輸送車両 (UTV) システムの安全ガイドライン

SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.