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SEMI S27 - 針對環境、安全與衛生(ESH)評価報告內容之安全指導方針 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本安全指導方針による全球環境、衛生及び安全技術委員会(Environmental Health & Safety Technical Committee)技術核可、本版於2009年12月16日による全球審核與覆檢小組委員會核可、自2010年2月起床可能ですwww.semi.org を取得してください。
本書の目的は、SEMI 安全指導方針に準拠した製造設備 (ME) の評価報告の一貫性を改善することです。
本明細書に適用される製造設備評価報告書には、 SEMI 安全指導方針の互換性があります。
参照されるSEMI規格SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S7 — 評価担当者および企業の資格を評価するための安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体人間工学工学の安全ガイドライン
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