SEMI S27 - 環境、健康、安全（ESH）評価報告書内容に関する安全ガイドライン -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。

免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本安全ガイドラインは、Environment Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現版は2009年12月16日、global Audits and Reviews Subcommitteeにて発行が承認された。2010年2月にwww .semi.orgで入手可能となる。

注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。

本書は、SEMI安全ガイドラインに対する製造装置(ME)の評価を記録する評価報告書である。

本書は，SEMI安全ガイドラインへの適合性に関するMEの評価報告書に適用される。

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S7 — 評価担当者および企業の資格を評価するための安全ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン

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