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SEMI S25 - 過氧化氫貯蓄及び搬送運系統の安全基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本安全基準は全球環境、衛生與安全委員会核規格による。 7月発行行光版。
注意：本安全基準中より「註」為標題の段落並非正式承認、この修正または代替のための正式な安全基準。
本基準係針半導体平面表示器電気業の過酸化ガス貯留、処理設備及び系統設定の最低安全衛生基準。
本安全基準でいう過酸化ガス（ H 2 O 2 ）濃度とは、半導体および平面表示器の電気業で常用される濃度（例：濃度低いとき40% w/w）を指します。
本安全基準著重於半導体又は平面表示器工廠部過酸化ガスの貯蓄、処理、運送及び輸送作業。
本安全基準には次の章節が含まれます：
- 目的（第1節）
- 範圍（第2節）
- 制限（第3節）
- 參考標準及び文件（第4節）
- 詞大橋（第5節）
- 安全原則（第6節）
- 一般原則（第7節）
- 教育訓練（第8節）
- 緊急翁變（第9節）
- 材料、零組及び結構（第10節）
- 貯蓄（第11節）
- 操作（第12節）
- 輸送系統及び模組／輔補助設備（第13節）
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S10 — リスク評価のための安全ガイドライン
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