SEMI S23 - 半導體製造設備之エネルギー源、電力、原料節約基準 -

Abstract

本基準之技術業經全球環境、衛生與安全委員会核規格，目前版本由全球マニアック核及び審查小組委員会於2005年5月20日核規格出版，並於2005年6月在www.semi.org發行線上版本，2005年7月発行行光碟版。初版於2005年3月発行行，2005年07月保管公開。

本基準説明導半肉体製造設備のエネルギー源、電力および供給源の節約概念。

本基準では導体半導体製造設備のエネルギー源、電力および原料の使用方法を説明します。

本基準並順明半導体製造設備のエネルギー、電力及び原料使用の維持改善を行い、エネルギー、電力及び原料の節約を促進する。

この基準は、協力者がエネルギー源、電力、および供給源節約技術を検討することを目的として、一連の選択基準を提供します。

本基準主旨在作為半導体製造設備のエネルギー源、電力與原料節約分析之ツール。

この基準は、導体半裸設備のエネルギー源、電力供給源の使用率および消費量低下状況通知の方法を提供するものです。

この基準策定議題は、中小企業関連全体のエネルギー消費を節約するために、エネルギーの量の値を使用し、また、場規律によるエネルギー節約の方法を支援します。

本基準当面大幅重設備壽命週期の使用階段であり、すべての電力供給源の蓋がされていない。

この基準は、電力供給源の使用率とエネルギー節約を目的として設定されています。

本基準に含まれる次の章節：

• 目的

• 範圍

• 制限

• 參考標準

• 詞Ⅰ

• 一般概念

• エネルギー使用の壽命週期評価估（ LCA ）

• 基線製程

• 測定電力與原料使用率

• 等エネルギー源の検討係

• 設定目標與改善

• 監察測與通報

• 相文書

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント

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