SEMI S23 - 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、および材料の保全のためのガイド -

Abstract

本基準は、global Environmental Health & Safety Committee で技術的に承認されている。現版は2011年2月3日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 .orgおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は2005年3月発行、前版は2008年7月に発行された。

このガイドでは、半導体製造装置で使用するエネルギー、ユーティリティ、および材料の保全に関するコンセプトを取り上げています。

本ガイドでは，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する測定を受賞している。

エネルギー，ユーティリティ，および材料の保全を促進するため，本書では，半導体製造装置におけるエネルギー，ユーティリティ，および材料の使用に関する継続的な改善計画を取り上げる。

このガイドでは、一連のオプションや事項について徹底的に、エネルギー、ユーティリティ、および材料の保全のために利用できる技術についてユーザの知識向上を目指してください。に考慮するための特定の実行手順を提案する。

SEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン

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