{"product_id":"s02200-semi-s22-safety-guideline-for-the-electrical-design-of-semiconductor-manufacturing-equipment","title":"S02200 - SEMI S22 - 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの安全ガイドラインは、設計ベースの一連の安全ガイドラインを提供します。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eで使用される生産装置の電気的安全性に関する考慮事項\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体産業。基本的な製品の安全性に関する懸念は、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの安全性で定められた設計、構造、およびテストの原則を満たしていること\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e感電や火災の危険から保護するためのガイドライン。その意図は、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e双方に役立つデザインベースの電子ドキュメントを提供する\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e設計エンジニアと評価者は、電気的安全性を促進するために、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e設備。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの安全ガイドラインでは、\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e生産設備向けの一連の設計ベースの電気安全考慮事項\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体産業で使用されています。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e基本的な製品の安全性に関する懸念\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e設計、構築、テストの原則を満たすことで対処可能\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの文書に記載されている、または適用される要件を満たすことによって、\u003c\/span\u003e \n電気安全規格。 \n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの安全ガイドラインが適用されます\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造装置まで。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこのセーフティに含まれるもの\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eガイドラインは、電気安全インターロックの設計上の考慮事項です。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e電気的および非電気的な安全上の危険から保護します。と\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e電気的安全上の危険から保護する非電気的インターロック。\u003c\/span\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの文書は以下に適用されます。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e製造、測定、組み立て、および製造に使用されるすべての機器の電気設計\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e特に除外されない限り、半導体製品をテストしてください。見る\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e§\u003c\/span\u003e \n\u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc430706662\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-element:field-begin\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc430706662\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\n参照\u003cspan style=\"mso-spacerun:yes\"\u003e  \u003c\/span\u003e_Ref520800897 \\h \\r \\t\u003cspan style=\"mso-spacerun:yes\"\u003e  \u003c\/span\u003e\\* マージフォーマット\u003cspan style=\"mso-element:field-separator\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc430706662\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e3\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c!--[if gte mso 9]\u003e\u003cxml\u003e\n\u003cdata\u003e \u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc430706662\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e08D0C9EA79F9BACE118C8200AA004BA90B02000000080000000E0000005F005200650066003500320030003800300030003800390037000000\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e \u003c\/data\u003e\n\n\n\u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:\n _Toc430706662\"\u0026gt;\u003cspan style=\"mso-element:field-end\"\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc430706662\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e、制限事項。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの安全ガイドラインが適用されます\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e危険な電圧または危険な電圧で電力を供給することを目的とした機器への使用\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e電力。\u003c\/span\u003e \n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI E33 — 半導体製造装置ガイド\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e電磁両立性 (EMC)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S2 — 環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造装置\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S3 — プロセス液体加熱の安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eシステム\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S8 — 人間工学工学の安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造装置\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S10 — リスク評価とリスクに関する安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e評価プロセス\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S13 — 環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S14 — 火災リスク評価と安全に関するガイドライン\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e半導体製造装置に対する緩和策\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0718E (編集改訂版)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0718 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0715bE (編集改訂版)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0715b (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0715a (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0715 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0712a (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0712 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1110c (改訂遅れ)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1110b (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1110a (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1110 (技術改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0709b (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0709a (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-0709 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(編集改訂版)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1103b (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1103a (遅れた改訂)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI S22-1103 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S22-0718E - 現在","offer_id":40234336026691,"sku":"5550","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S22-0718 - 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