{"product_id":"s01600-semi-s16-半導體製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準","title":"S01600 - SEMI S16 - 半導体製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本基準之技術業經全球環境、衛生及び安全\u003cfont size=\"2\"\u003e委員会核標準\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e。 \u003cfont size=\"2\"\u003e3月出版光碟版。初版於2000年6月発行行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e注意：本文於\u003cfont size=\"2\"\u003e2007年の全面再編。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e本文\u003cfont size=\"2\"\u003e担当者は、壽命終了時に設備またはその部品構成が環境に影響を与える可能性を予測するために、半導体製造設備（SME）の設計基準を提供しています。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの基準では、 \u003cfont size=\"2\"\u003eSME またはその部品の構成要素が壽命終了時に処理階段環境に及ぼす影響を軽減できる可能性を考慮して、設計検討事項を提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの基準は、 \u003cfont size=\"2\"\u003eSME またはその部品構成を使用して、設計上の考慮事項を提供します。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本基準に含まれる次の章節：\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont face=\"DFKai-SB\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e目的\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e \u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e範圍\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e制限\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e考慮標準および文書\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e詞Ⅰ\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e一般概念\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e素材選び\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e辨識再利用性または再循環性\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e再利用性または再循環性を考慮した設計\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cli\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e設備提供商王準備書面\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S16-0307 - 置き換えられました","offer_id":40234345103427,"sku":"6856","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_2bcd83f4-27d6-4b53-8074-a31513851e89.png?v=1776702201","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/s01600-semi-s16-%e5%8d%8a%e5%b0%8e%e9%ab%94%e8%a3%bd%e9%80%a0%e8%a8%ad%e5%82%99%e5%a3%bd%e5%91%bd%e7%b5%82%e4%ba%86%e9%9a%8e%e6%ae%b5%e6%b8%9b%e5%b0%91%e7%92%b0%e5%a2%83%e8%a1%9d%e6%93%8a%e7%9a%84%e8%a8%ad%e8%a8%88%e5%9f%ba%e6%ba%96","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}