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SEMI S16 - 半導体製造設備壽命終了階段減少環境衝擊的設計基準 -
Volume(s):
Safety Guidelines
Language:
Chinese (Traditional
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準之技術業經全球環境、衛生及び安全委員会核標準。 3月出版光碟版。初版於2000年6月発行行。
注意：本文於2007年の全面再編。
本文担当者は、壽命終了時に設備またはその部品構成が環境に影響を与える可能性を予測するために、半導体製造設備（SME）の設計基準を提供しています。
この基準では、 SME またはその部品の構成要素が壽命終了時に処理階段環境に及ぼす影響を軽減できる可能性を考慮して、設計検討事項を提供します。
この基準は、 SME またはその部品構成を使用して、設計上の考慮事項を提供します。
本基準に含まれる次の章節：
- 目的
- 範圍
- 制限
- 考慮標準および文書
- 詞Ⅰ
- 一般概念
- 素材選び
- 辨識再利用性または再循環性
- 再利用性または再循環性を考慮した設計
- 設備提供商王準備書面
SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
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SEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン
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