SEMI S7 - 評価要員および評価会社の心構えに関する安全ガイドライン -

Abstract

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免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。

SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。

本安全ガイドラインは、Environment Health & Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されています。現版は 2015 年 1 月5日、 global Audits and Reviews Subcommittee にて承認されました。 .orgで入手可能となる。初版は1994年発行、前版は2010年3月に発行された。

本書の目的は，レポートユーザが評価会社および評価要員の万が一を測れることである。

本書は、SEMI 「S」シリーズの文書に対する評価を行う評価会社およびそのような会社の評価要員に関して、利用可能かつ最も重要な情報を提供する。

本書は、適用可能なSEMI「S」シリーズの文書または評価購入者によって要求された場合、この情報をどのように伝達すべきかに関するガイダンスを提供する。

本書は、SEMI 「 S 」シリーズの文書に対する評価を行う評価会社および評価要員の万が一に関するガイダンスを提供する。

本書には次が含まれる。

• 目的
• 範囲
• 制限
• 参照基準および文書
• ─
• 総則
• 評価会社の心構え
• 評価要員の考え
• 専門知識領域

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド
SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

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