SEMI S7 - 導半體製造設備の安全衛生及び環保評估報告の安全基準 -

Abstract

注意: この翻訳は参考コピーのみです。差異が存在する必要がある場合 英語版と他の言語の翻訳の間では、 英語版が正式かつ権威のあるバージョンです。

注意：這個翻譯是一個參考版本。如果您在使用上，發現中文翻譯版本與英文翻訳版本產生成任意暫定的或是不確定之處，請務必參考訳文版本，並以和訳原文版本為主，英文翻訳バージョンは正式および權威のバージョンです。

この安全基準の目的は、レポート使用者、決定評議会および評議員の資格です。

於用用「 SEMI S 系列」文件進行評估有關公司時，本安全基準提供評估公司及び評估人員評提供的資訊。

「 SEMI S シリーズ」ファイルまたは影響評価報告購入方要求時、本安全基準は、溝通をどのように与えるかについての相次ぐ情報を提供します。

適用範圍

「 SEMI S 系列」文を使用し、評議員および評議員の資格を有し、本基準により指導原則が提供されます。

本基準には以下が含まれます：

· 目的

· 範圍

· 制限

· 引用標準文

· 術語

· 概要

· 評估公司資格

· 評価人事資格

· 專業領域

SEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン
SEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン
SEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン
SEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン
SEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン
SEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン
SEMI S23 — 半導体製造装置で使用されるエネルギー、ユーティリティ、材料の節約に関するガイド
SEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン

Interested in purchasing additional SEMI Standards? Consider SEMIViews, an online portal with access to over 1000 Standards.

Refund Policy: Due to the nature of our products, SEMI has a no refund/no exchange policy. Please make sure that you have reviewed your order prior to finalizing your purchase. All sales are final.