{"product_id":"s00600-semi-s6-半導體製造設備排氣通風基準","title":"S00600 - SEMI S6 - 半導体製造設備排氣通風基準","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;background:white; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-language:ZH-TW;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e注意\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;background:white;mso-fareast-language: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; ZH-TW'\u003e: この翻訳は参考コピーのみです。差異が存在する必要がある場合\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;background:white;mso-fareast-language: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; ZH-TW'\u003e英語版と他の言語の翻訳の間では、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\n \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;background:white;mso-fareast-language: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; ZH-TW'\u003e英語版が正式かつ権威のあるバージョンです。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family: DFKai-SB;\"\u003e注意：\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family: DFKai-SB;\"\u003e這個翻譯是一個參考版本。如果您在使用上，發現中文翻譯版本與英文翻訳版本產生成任意暫定的或是不確定之處，請務必參考訳文版本，並以和訳原文版本為主，英文翻訳バージョンは正式および權威のバージョンです。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsFigureTableSpace\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText0\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB;mso-ascii-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-fareast-language: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; ZH-TW;mso-bidi-font-weight:bold\"\u003e注意：本基準中は「応」字之條款を使用し、本文の記載に従って必須の承認記号を表示します。 , 並置非必須の説明記号は本文に記載されている内容を示します。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial\"\u003e本安全基準係在提供導半體製造設備（\u003c\/span\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSe \u003cspan style=\"letter-spacing:-.1pt\"\u003em\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"letter-spacing:.05pt\"\u003ei\u003c\/span\u003e c \u003cspan style=\"letter-spacing:.05pt\"\u003eo\u003c\/span\u003e nd \u003cspan style=\"letter-spacing:.05pt\"\u003eu\u003c\/span\u003e ctor\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n \n\u003cspan style=\"letter-spacing:-.1pt\"\u003e製造\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"letter-spacing: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; -.1pt\"\u003e機器\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"letter-spacing:-.1pt\"\u003e、\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"letter-spacing:-.05pt\"\u003e中小\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"letter-spacing:-.1pt\"\u003e企業\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"font-family:DFKai-SB;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-bidi-font-family:Arial\"\u003e）之排氣通風安全性能標準、及び評価この類標準の\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e測定\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial'\u003e方法\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"letter-spacing:.05pt\"\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-font-family:DFKai-SB;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e現在、エネルギー源の利益と相対的な制限の傾向の下で、使用者が設定する排氣通風設備の最適化はより重要です。本安全基準の目的担当者は、排氣通気の効果、設計原理、測定試験方法および標準を提供することにある。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e本基準適用時に連接至使用者設定排氣通風系統之可排氣通風的半導体製造設備。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-font-family:DFKai-SB;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e本書の標準適用は（全部または一部）人員保護、設備および降下火災風險之排氣通風系統。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-font-family:DFKai-SB;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003eここに記載されている効果は、提供者が使用者または他の提供者に提供するすべての設備、または提供者が他の提供者に提供する、さらに他の提供者が使用者に提供する設備の一部を評価することができます。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-font-family:DFKai-SB;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e本書の趣旨は協助半導体設備提供商依存共通の性能標準計画設備排氣通風系統，並協助使用者提供商議解設備系統の各項排氣通風要求である。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e測定試験方法詳細見第\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e§\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e \u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc515897748\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-element:field-begin\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc515897748\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e REF\u003cspan style=\"mso-spacerun:yes\"\u003e \u003c\/span\u003e_Ref515551479 \\h \\r \\t\u003cspan style=\"mso-spacerun:yes\"\u003e \u003c\/span\u003e\\* MERGEFORMAT \u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Toc515897748\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cspan style=\"mso-element:field-separator\"\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c![endif]--\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e8\u003c\/span\u003e\u003c!--[if gte mso 9]\u003e\u003cxml\u003e \n\n\u003cdata\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e08D0C9EA79F9BACE118C8200AA004BA90B02000000080000000E0000005F005200650066003500310035003500350031003400370039000000\u003c\/span\u003e \u003c\/data\u003e\n\n\u003c!--[if supportFields]\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark: \n\n_Toc515897748\"\u0026gt;\u003cspan style=\"mso-element:field-end\"\u003e\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e節および項が付属します。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-fareast-font-family:DFKai-SB;mso-fareast-language:ZH-TW'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"ZH-TW\" style=\"font-family:DFKai-SB; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family: \u0026lt;!--nl--\u0026gt; \u0026lt;!--nl--\u0026gt; Arial;mso-fareast-language:ZH-TW\"\u003e本明細書では、提供者または使用者が採用する危険な評価方法または制御方針（すなわち設計原則）を制限するものではない。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照された SEMI 規格\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003eSEMI F5 — ガス状廃液処理ガイド\u003c\/span\u003e\u003cbr\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/span\u003e \u003cbr\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003eSEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\u003cbr\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003eSEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン\u003c\/span\u003e\u003cp\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S6-0618 - 現在","offer_id":40234340024387,"sku":"13637","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S6-0707E - 置き換えられました","offer_id":40234340122691,"sku":"6932","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S6-0707 - 置き換えられました","offer_id":40234340188227,"sku":"6931","price":62700.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_71004f52-b807-4006-9a6d-29b51d209742.png?v=1776702170","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/s00600-semi-s6-%e5%8d%8a%e5%b0%8e%e9%ab%94%e8%a3%bd%e9%80%a0%e8%a8%ad%e5%82%99%e6%8e%92%e6%b0%a3%e9%80%9a%e9%a2%a8%e5%9f%ba%e6%ba%96","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}