{"product_id":"s00600-semi-s6-半導体製造装置の排気換気に関する環境-健康-安全のためのガイドライン","title":"S00600 - SEMI S6 - 半導体製造装置の排気に関する環境，健康，安全のガイドライン","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e注意:\u003c\/b\u003eこの翻訳は参考コピーのみです。違いがある場合は、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e英語版と他の言語の翻訳の間に存在するものは、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e英語版が正式かつ権威のあるバージョンです。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e免責事項： この\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e注意： 本ガイドラインの「べきである」という規定に適合することが、本書への適合宣言に必要である。本安全ガイドラインは、半導体製造装置（ SME ）の排気に対する換気安全性能基準、およびこれらの\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e基準\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eへの適合性を評価するためのテスト方法を提供する。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eユーザファシリティ内の排気換気ユーティリティのエネルギー効率および物理的な観点が考えると、排気換気の最適化がますます重要になってきています。そのために、効率的に設計された排気換気を提供する必要がある。 本安全ガイドラインの目的は、排気換気のための性能および設計原理、またテストする方法およびテスト基準を提供することである。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eこのガイドラインは、ユーザファシリティの排気換気システムに接続しようとする排気換気を組み込んだ半導体製造装置に適用する。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e本書の基準は、要員の保護、装置の保護、および火災リスク低減を（その全部または一部の）目的として提供する排気システムに適用されるべきである。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e本書内の性能および評価基準は、サプライヤがユーザに提供する装置、または他のサプライヤがユーザに提供する装置の一部として、サプライヤが提供する装置のすべてに対して適用する。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e本書は、半導体製造装置供給ヤが、装置排気換気システムを一般的な一連の性能基準に基づいて設計を支援するとともに、ユーザや供給ヤが装置システムに対する排気要件を理解する手助けとなることを意図している。設計仕様を確立することは意図していない。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eテスト方法を\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e§ 8\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003eおよび付属書に記述しています。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e本書は、サプライヤまたはユーザが採用する危険源評価方法、または危険制御戦略（例、設計原理）に制限を加える事は意図しない。採用してもよい。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-weight:bold'\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"arial\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"\"\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eSEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI S2 — 半導体の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e製造設備\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI S14 — 火災リスクの評価と軽減のための安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e半導体製造装置\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMI S22 — 半導体の電気設計の安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif;mso-bidi-font-weight:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;bold'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e製造設備\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S6-0618 - 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