{"product_id":"s00500-semi-s5-ガス用流量制限デバイスのサイズ決定と特定のための安全ガイドライン","title":"S00500 - SEMI S5 - ガス用流量制限デバイスのサイズ決定と特定のための安全ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項：このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本安全ガイドラインは、Environment Health \u0026amp; Safety Global Technical Committeeで技術的に承認されている。現\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e版は2015年12月\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e4日、global Audits and Reviews Subcommittee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認された。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2016年6\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月にwww.semiviews \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eおよびwww.semi.orgで入手可能となる。初版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e1993年発行、前版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2010年3\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月に発行された。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003eこの安全ガイドラインの目的は、危険性ガスの運搬、保管、および使用中における放出速度を制限する流量制限デバイス (FLD)\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003eに行う情報および方法を提供するものである。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eこの安全ガイドラインは、危険性ガスのFLDを目指すものである。 これらのデバイスは、FLDあるいはその下流で、制御されない放出の流量を制限することを意図している。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003eこの安全ガイドラインは、FLD 上流と下流の圧力比（上流圧\/下流圧）が臨界圧力比以上であることに留意する臨界流量において作動する\u003cspan lang=\"EN\"\u003eFLD\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eを重視するものである。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの安全ガイドラインは、サイズ\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eによってFLD\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eを特定する方法を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの安全ガイドラインは、そのようなデバイスを流れる数の種類のガスおよびその混合物の近似最大および最小流量を行う計算方法を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eこの安全ガイドラインは、アプリケーションに使用する FLD のサイズを、使用ガスおよび必要な流量に基づいて選択する方法を提供する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S26 — FPD製造システムの環境、健康、安全ガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S5-0616 - 置き換えられました","offer_id":40234326360131,"sku":"5559","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S5-0310 - 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