{"product_id":"s00300-semi-s3-safety-guideline-for-process-liquid-heating-systems","title":"S00300 - SEMI S3 - プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの安全ガイドラインは、環境安全衛生グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 5 月 16 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2017 年 10 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1991 年に出版されました。以前は 2011 年 12 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eE この規格は、通常の再承認プロセスの外で承認された修正を加えるために編集上変更されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 「注」というタイトルの段落は、この文書の正式な部分ではなく、この文書を変更したり置き換えたりすることを意図したものではありません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: この文書への適合を宣言するには、「すべき」という言葉を含む規定への適合が必要です。 「可能性がある」、「提案される」、「優先される」、または「推奨される」を含む規定、または注記または関連情報への適合は、適合を宣言するために必要ありません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの安全ガイドラインの目的は、半導体およびフラット パネル ディスプレイの製造で使用されるプロセス液体の温度を変更または維持するために使用される加熱システムの設計および文書化に関して、最小限の一般的な安全上の考慮事項を提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの安全ガイドラインは、プロセス液体加熱システム (PLHS) について、(SEMI S10 および SEMI S14 で定義された) 低以下のリスク レベルを達成するためのいくつかの手段 (表 1 を参照) を提供します。ただし、どの手段を使用するかの選択は、この文書への適合性を判断する基準ではありません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの安全ガイドラインは、いくつかの一般的な PLHS 構成について、PLHS に組み込まれる安全機能の規範的なリストを提供します。これらの安全機能の設計および性能基準も提供されます。安全機能の規範的なリストと、それらの安全機能の設計および性能基準の両方に準拠する PLHS は、リスク レベルが低 (SEMI S10 および SEMI S14 で定義) 以下に達すると推定され、したがって、次の基準に準拠します。この安全ガイドライン。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの安全ガイドラインへの適合は、PLHS を設計し、SEMI S10 および SEMI S14 を使用して評価され、危険性を考慮して機器のリスクが「低」以下になるように選択、設計、および実行される安全機能を組み込むことによっても達成できます。この文書内で説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の範囲は、プロセス液体の温度を変更または維持するように設計された加熱システムに限定されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e脱イオン (DI) 温水器 - 加熱された脱イオン水が第 5 条で定義されている「プロセス液体」として使用される場合、脱イオン水加熱器はこの文書の範囲内に含まれます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ci\u003e \u003c\/i\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e熱伝達流体 (HTF) — 加熱システムとプロセス液体の間で熱を伝達するために流体が使用される場合、それらはこの文書の範囲内に含まれます。この文書の目的上、HTF は液体に限定されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eSEMI S3 の範囲は PLHS ですが、この安全ガイドラインは、サブシステムを評価して、サブシステムを PLHS に統合することによって PLHS がこの安全ガイドラインに準拠しなくなるかどうかを判断するために使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI S2 — 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S3-1211 (再承認 1017)E - 現在","offer_id":40234326294595,"sku":"5558","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S3-1211 - 置き換えられました","offer_id":40234326491203,"sku":"6668","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S3-0306 - 置き換えられました","offer_id":40234326687811,"sku":"6666","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S3-91 - 置き換えられました","offer_id":40234326786115,"sku":"6669","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_e88483d8-483f-4b8b-85f6-6b503bf813a9.png?v=1776702364","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/s00300-semi-s3-safety-guideline-for-process-liquid-heating-systems","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}