{"product_id":"s00200-semi-s2-半導体製造装置の環境-健康-安全に関するガイドライン","title":"S00200 - SEMI S2 - 半導体製造装置の環境、健康、安全に関するガイドライン","description":"\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e知らせ：\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの翻訳は、\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e参考コピーのみ。英語版との間に相違点が存在する場合\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e他の言語に翻訳された場合は、英語版が正式なものとなります。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\n\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eそして正式版。\u003cb\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e免責事項：\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e \u003cb\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS PMincho\",serif;mso-ascii-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e　\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS PMincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eこの\u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS PMincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は利用者各位の便宜のためにしたものです。は英語版記載内容が優先されます。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS PMincho\",serif;mso-ascii-font-family:Arial;\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003eスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsText\"\u003e\u003cb\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/b\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size: small; font-family: \"MS Mincho\";'\u003e本安全ガイドラインは、半導体製造装置で実現すべき、一連の環境、健康、安全（environment, health and safety (\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003eEHS\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-size: small; font-family: \"MS Mincho\";'\u003e)\u003c\/span\u003e \u003cspan style=\"font-size: small; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e）\u003c\/span\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-size: small; font-family: \"MS Mincho\";'\u003e上の性能基準を提供する。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH1\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003ci\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e適用\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e \u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e—\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial;mso-bidi-font-family:Arial'\u003e本安全ガイドラインは、半導体製品の製造、測定、組立て、およびテストに使用される装置に適用される。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003ci\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp class=\"StdsH2\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003ci\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"MS Mincho\";\u0026lt;!--nl--\u0026gt;mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003e条項の優先順位\u003c\/span\u003e\u003c\/i\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e \u003c\/span\u003e\u003cspan style='font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e—\u003c\/span\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style='font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"MS Mincho\";mso-ascii-font-family:Arial;mso-hansi-font-family:Arial;mso-bidi-font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;Arial'\u003e本安全ガイドラインの複数セクションの規定が相互に矛盾する場合は、当該技術問題を特定して集中セクションが、より一般的な他のセクションに優先する。\u003c\/span\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0in 21pt 0pt\"\u003e\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\n\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style=\"line-height: 107%; font-family: Arial, sans-serif;\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"font-family: arial; font-size: small;\"\u003e　\u003c\/span\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003e\u003cb style=\"\"\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp style=\"\"\u003e \u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont style=\"\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" style=\"\" size=\"2\"\u003eSEMI E6 — 半導体装置設置ガイド ドキュメント\u003cbr\u003eSEMI F5 — ガス状廃液の処理に関するガイド\u003cbr\u003eSEMI F14 — ガス源機器エンクロージャの設計ガイド\u003cbr\u003eSEMI F15 — エンクロージャのテスト方法 (SF6 トレーサーガス) が SEMI S6 に移行されました\u003cbr\u003eSEMI S1 — 機器の安全ラベルの安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S3 — プロセス液体加熱システムの安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S6 — 半導体製造装置の排気換気に関する EHS ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S7 — 半導体製造装置の環境、安全、健康 (ESH) 評価に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S8 — 半導体製造装置の人間工学工学に関する安全ガイドライン\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003eSEMI S10 — リスク評価およびリスク評価プロセスの安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S12 — 機器の除染に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S13 — 半導体製造装置で使用するために装置ユーザーに提供される文書に関する環境、健康、安全に関するガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S14 — 半導体製造装置の火災リスク評価と軽減に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003eSEMI S22 — 半導体製造装置の電気設計に関する安全ガイドライン\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI S2-0724 - Superseded","offer_id":43106876751939,"sku":"18388","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0821Ea - Superseded","offer_id":43106876784707,"sku":"16789","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0821 - Superseded","offer_id":43106876817475,"sku":"14704","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0818Eb - 置き換えられました","offer_id":40234354147395,"sku":"14577","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0818Ea - 置き換えられました","offer_id":40234354180163,"sku":"14122","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0818E - 置き換えられました","offer_id":40234354212931,"sku":"11166","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0818 - 置き換えられました","offer_id":40234354245699,"sku":"10040","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-1016b - 置き換えられました","offer_id":40234354278467,"sku":"6885","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-1016a - 置き換えられました","offer_id":40234354311235,"sku":"6884","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-1016 - 置き換えられました","offer_id":40234354344003,"sku":"6883","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0715a - 置き換えられました","offer_id":40234354376771,"sku":"6882","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0715 - 置き換えられました","offer_id":40234354409539,"sku":"6881","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0712d - 置き換えられました","offer_id":40234354442307,"sku":"6880","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0712c - 置き換えられました","offer_id":40234354475075,"sku":"6879","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0712b - 置き換えられました","offer_id":40234354507843,"sku":"6877","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0712a - 置き換えられました","offer_id":40234354540611,"sku":"6876","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0712 - 置き換えられました","offer_id":40234354573379,"sku":"6875","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310d - 置き換えられました","offer_id":40234354606147,"sku":"6870","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310e - 置き換えられました","offer_id":40234354638915,"sku":"6871","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310c - 置き換えられました","offer_id":40234354671683,"sku":"6869","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310b - 置き換えられました","offer_id":40234354704451,"sku":"6868","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310a - 置き換えられました","offer_id":40234354737219,"sku":"6867","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0310 - 置き換えられました","offer_id":40234354769987,"sku":"6866","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI S2-0706 - 置き換えられました","offer_id":40234354802755,"sku":"6872","price":75400.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/SVolume_0cd994b3-490d-4153-a3f1-26d3607f6723.png?v=1776702198","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/s00200-semi-s2-%e5%8d%8a%e5%b0%8e%e4%bd%93%e8%a3%bd%e9%80%a0%e8%a3%85%e7%bd%ae%e3%81%ae%e7%92%b0%e5%a2%83-%e5%81%a5%e5%ba%b7-%e5%ae%89%e5%85%a8%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e3%82%ac%e3%82%a4%e3%83%89%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%b3","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}