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SEMI PV64 - 電感耦合等离子体光谱法測定光伏多結晶硅用工業粉中B、P、Fe、Al、Caの含有量 -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
Chinese (Simplified)
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
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この規格は、太陽光発電世界技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2015 年 5 月 19 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2015 年 7 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。
酸化は多結晶シリコンの製造過程における重要なプロセスである。このプロセスは多量のシリコン粉の使用を必要とし、シリコン粉中のＢ、Ｐ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａの含有量は三酸化シリコンの生成に大きな影響を与える。したがって、 珪粉中のＢ、Ｐ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａの含有量を測定するための方法が開発されることが必須である。
この方法は、世界中の実験室の間で、珪粉中のＢ、Ｐ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａの含有量を検査または測定するために使用される。
この規格は、電気結合等電子放出法を用いて、工業用粉中のＢ、Ｐ、Ｆｅ、Ａｌ、Ｃａ含有量を測定する多結晶シリコンの測定方法を規定している。
参照されるSEMI規格SEMI C10 — メソッドの検出限界の決定に関するガイド
SEMI C28 –– フッ化水素酸の仕様
SEMI C35 –– 硝酸の仕様とガイドライン
SEMI PV17 — 太陽光発電用途向けのバージンシリコン原料材料の仕様
SEMI PV49 –– バルク分解、誘導結合プラズマ質量分析によるシリコン太陽電池用シリコン原料中の元素不純物濃度測定の試験方法
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