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SEMI PV3 - 太陽電池加工に設置高純度水に関するガイド -
Volume(s):
Photovoltaic
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
本基準は、global Photovoltaic Committee で技術的に承認されている。現版は2009年12月16日、global Audits and Reviews Subcommittee にて発行が承認された。 入手可能となります。
本ガイドは複数の目的で提供される。 本ガイドは、高純度水（ HPW ）装置の新規購入に関する性能基準を定めるための基礎として用いてよい。 さらに、施設によって供給されているHPWの品質について、プロセスエンジニアが合理的な期待を設定する目的で用いてもよい。
参照されるSEMI規格
SEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド
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