{"product_id":"p04600-semi-p46-specification-for-critical-dimension-cd-measurement-information-data-on-photomask-by-xml","title":"P04600 - SEMI P46 - XMLによるフォトマスク上の限界寸法（CD）測定情報データの仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、マイクロパターニング グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 9 月 12 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 11 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になりました。初版は 2006 年 7 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e XML データ構造のこの仕様は、フォトマスクの限界寸法 (CD) 測定ツールに使用される共通の入出力情報を定義します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの標準化されたデータ構造を利用する機器供給者は、特定のソフトウェアや特定のハードウェアに依存することなく送受信を行うことができる。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、半導体製造用フォトマスクのCD測定に適用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのデータ構造は、送信する XML ファイルのデータ階層、タグ名、および内容を定義します。この標準では、特定のデータベースまたは特定のプログラミング言語は指定されていません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI P10 — フォトマスク注文のデータ構造の仕様\u003cbr\u003eSEMI P41 — 欠陥検査ツール、修復ツール、レビューツール間での XML によるマスク欠陥データ処理の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P46-1111 - 非アクティブ","offer_id":40234366107715,"sku":"11343","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P46-0706 - 置き換えられました","offer_id":40234366369859,"sku":"12999","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_ffa896ba-db91-4db6-a7b8-f57ba43af327.png?v=1776701944","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p04600-semi-p46-specification-for-critical-dimension-cd-measurement-information-data-on-photomask-by-xml","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}