{"product_id":"p04000-semi-p40-specification-for-mounting-requirements-for-extreme-ultraviolet-lithography-masks","title":"P04000 - SEMI P40 - 極端紫外線リソグラフィーマスクの取り付け要件の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの仕様は、極端な取り付け要件をカバーしています。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e選択したツールの紫外線リソグラフィー (EUVL) マスク。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eこの規格は EUVL マスクの要件を詳しく説明します\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e取り付け。マスク マウントは、マスクが当てられる平らな基準面です。\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eクランプされた。マスクマウントの具体的なデザインや材質は指定されていません。\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003ca name=\"_Ref211132072\"\u003e\u003c\/a\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref12839249\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref211132072\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこの規格の取り付け要件\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref12839249\"\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:_Ref211132072\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEUV露光ツールに適用されます\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003cspan style=\"mso-bookmark:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;_Ref211132072\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003e。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style=\"mso-bookmark:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;_Ref211132072\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eこれらの取り付け要件は、製造または製造に使用される他のツールでも使用される場合があります。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\n \u003cspan style=\"mso-bookmark:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;_Ref211132072\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\"Arial\",sans-serif'\u003eEUVマスクを測定します。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e参照SEMI規格\u003c\/b\u003e（別途購入）\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI P37 — 極端紫外線の仕様\u003c\/span\u003e\n\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eリソグラフィマスク基板\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003e\u003cb\u003e改訂履歴\u003c\/b\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI P40-1109 (再承認 1221)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI P40-1109 (再承認 0416)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e \u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI P40-1109 (完全な書き換え)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n \u003cp class=\"MsoNormal\"\u003e\u003cspan style='font-size:10.0pt;line-height:107%;font-family:\u0026lt;!--nl--\u0026gt;\"Arial\",sans-serif'\u003eSEMI P40-1103 (初公開)\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P40-1109 (再承認 1221) - 現在","offer_id":40234324820035,"sku":"14823","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P40-1109 (再承認 0416) - 置き換えられました","offer_id":40234324951107,"sku":"5237","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P40-1109 - 置き換えられました","offer_id":40234325049411,"sku":"12986","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P40-1103 - 置き換えられました","offer_id":40234325082179,"sku":"12985","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_9a0d6d53-547c-4c4a-abb5-4fb4f5164541.png?v=1776702499","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p04000-semi-p40-specification-for-mounting-requirements-for-extreme-ultraviolet-lithography-masks","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}