{"product_id":"p04000-semi-p40-極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様","title":"P04000 - SEMI P40 - 極紫外線リソグラフィマスクの取り付けに関する要求条件およびアライメント基準位置の仕様","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e本基準は、Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので、North American Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eは\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e、2003年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e9月\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e3 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e日\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003eNorth American Regional Standards Committee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eにて承認されている\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e2003年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e9 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月にまず\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003ewww.semi.org \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで入手可能となり、 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e2003 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e11 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e月発行に至る。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eこの仕様は、極紫外線リソグラフィ（ \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS Mincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eEUVL ）のマスクの取り付けに関する要求条件について記載する。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI P37 — 極端紫外線リソグラフィーマスク基板の仕様\u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI P38 — 極端紫外線リソグラフィーマスクブランク上の吸収膜スタックおよび多層の仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P40-1103 - 置き換えられました","offer_id":40234373611587,"sku":"12984","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_e3eef712-08fa-4469-9ceb-0650d25296b3.png?v=1776701861","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p04000-semi-p40-%e6%a5%b5%e7%b4%ab%e5%a4%96%e7%b7%9a%e3%83%aa%e3%82%bd%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3%e3%83%9e%e3%82%b9%e3%82%af%e3%81%ae%e5%8f%96%e3%82%8a%e4%bb%98%e3%81%91%e3%81%ab%e9%96%a2%e3%81%99%e3%82%8b%e8%a6%81%e6%b1%82%e6%9d%a1%e4%bb%b6%e3%81%8a%e3%82%88%e3%81%b3%e3%82%a2%e3%83%a9%e3%82%a4%e3%83%a1%e3%83%b3%e3%83%88%e5%9f%ba%e6%ba%96%e4%bd%8d%e7%bd%ae%e3%81%ae%e4%bb%95%e6%a7%98","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}