{"product_id":"p03500-semi-p35-マイクロリソグラフィメトロロジの用語法","title":"P03500 - SEMI P35 - マイクロリソグラフィーメトロロジの用語法","description":"\u003cp class=\"Indent\" style=\"MARGIN: 0pt 21pt; TEXT-ALIGN: justify\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e本基準は、global Micropatterning Committeeで技術的に承認されている。現版はglobal Audits and Reviews Subcommittee \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'\"\u003eで\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2006年8月24日に発行が承認された\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e。 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003eそして2006年11月にCD-ROM \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003eで入手可能となりました。 \u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e初版は2000年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月発行、前版は\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e2004 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e年\u003cspan style=\"FONT-SIZE: 10pt; mso-fareast-language: JA\"\u003e7 \u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-SIZE: 10pt; FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e月に発行されました。\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/span\u003e\u003c?xml:namespace prefix = o ns = \"urn:schemas-microsoft-com:office:office\" \/\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp class=\"MsoNormal\" style=\"MARGIN: 0pt\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003ch2 style=\"MARGIN: 3pt 0pt; mso-list: none\"\u003e\u003cspan lang=\"JA\" style=\"FONT-FAMILY: 'MS PMincho'; mso-ascii-font-family: 'Times New Roman'; mso-hansi-font-family: 'Times New Roman'; mso-fareast-language: JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e明確で広く受け入れられる定義が，メトロロジ機器の買手と売手の間で効果的に判断をスルー疎遠を防ぐために必要となる。本書の目的は，マイクロリソグラフィで重要なメトロロジに関する問題を捉える論議するために、一貫性のある用語を提供することである。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/h2\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI E89 — 測定システム分析 (MSA) のガイド\u003c\/font\u003e \u003cbr\u003e\u003cfont\u003eSEMI P28 — 集積回路製造のためのオーバーレイ計測テストパターンの仕様\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P35-1106 - 置き換えられました","offer_id":40234368892995,"sku":"12971","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_fd0ace3b-319d-4cb4-85f0-ce3d43f89020.png?v=1776701865","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p03500-semi-p35-%e3%83%9e%e3%82%a4%e3%82%af%e3%83%ad%e3%83%aa%e3%82%bd%e3%82%b0%e3%83%a9%e3%83%95%e3%82%a3%e3%83%a1%e3%83%88%e3%83%ad%e3%83%ad%e3%82%b8%e3%81%ae%e7%94%a8%e8%aa%9e%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}