{"product_id":"p03200-semi-p32-フォトレジスト中のトレースメタル定量のための試験方法","title":"P03200 - SEMI P32 - フォトレジスト中のトレース金属定量のための試験方法","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本試験方法は、Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので、Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2004年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月23\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日Japanese Regional Standard Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認されている。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2004年8月にまずwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となり、 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2004年11\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行に至る。初版は1998\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年9\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eこのドキュメントは，トレースメタル濃度に関する定量的な分析方法の概略（概要）を定めている。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこのドキュメントは原子吸光分光法，プラズマイオン源質量分光法及び誘導結合プラズマ原子発光分光法のような機器分析によって，フォトレジスト中のトレース金属濃度\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eをppb\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eレベルで測定する事に対して適用する。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの測定での対象金属は、 \u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eAl \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Ca \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Cr \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Cu、Fe \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Mg \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Mn \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、Ni \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e、K、 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eNa\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eである。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e金属を追加したり減じる事は，ユーザーとサプライヤの間の合意により，そして測定リストに書きます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e以下に考える方法は，対象のトレースメタルのそれぞれに対して指定した値において，トレースメタルの不純物量を決定するために満足すべき結果を考える。 代替の方法あるいは条件は，仕様値の半分の濃度\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e既知サンプルで、75% ～125%の（分析での）回収率を正しいな研究で証明する限り使える事ができる。その結果は、仕様の範囲内（ある値以下）として、もしかしたら仕様内でないとして報告されるべきである（SEMI C1 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eSEMI C1 — 液体化学物質の分析ガイド\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P32-1104 - 非アクティブ","offer_id":40234356211779,"sku":"11333","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_7d349dad-e5b6-4005-badc-7804b580a0e7.png?v=1776701956","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p03200-semi-p32-%e3%83%95%e3%82%a9%e3%83%88%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e4%b8%ad%e3%81%ae%e3%83%88%e3%83%ac%e3%83%bc%e3%82%b9%e3%83%a1%e3%82%bf%e3%83%ab%e5%ae%9a%e9%87%8f%e3%81%ae%e3%81%9f%e3%82%81%e3%81%ae%e8%a9%a6%e9%a8%93%e6%96%b9%e6%b3%95","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}