{"product_id":"p03100-semi-p31-practice-for-catalog-publication-for-chemical-amplified-ca-photoresist-parameter","title":"P03100 - SEMI P31 - 化学増幅型 (CA) フォトレジストパラメータのカタログ発行の実践","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、マイクロパターニング グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2011 年 5 月 13 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2011 年 6 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 1997 年 9 月に出版されました。以前は 2004 年 3 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: この文書は編集上若干の変更を加えて再承認されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書の目的は、化学増幅 (CA) フォトレジストのパラメーターを公開するためのベースラインを提供することです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、半導体製造に使用される CA フォトレジストに適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は、フォトレジストプロセスパラメータを評価するためのガイドとして使用されます。 \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの文書は品質保証には適用されません。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P31-0304 (再承認 0611) - 非アクティブ","offer_id":40234360995907,"sku":"11331","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P31-0304 - 置き換えられました","offer_id":40234361192515,"sku":"12966","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_c530fb09-89df-4e7e-9cef-71f43f66ce55.png?v=1776701957","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p03100-semi-p31-practice-for-catalog-publication-for-chemical-amplified-ca-photoresist-parameter","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}