{"product_id":"p02700-semi-p27-基板上のレジスト膜厚の測定用パラメータチェックリスト","title":"P02700 - SEMI P27 - 基板上のレジスト膜厚の測定用パラメーターチェックリスト","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e \u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eSEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e本チェックリストは、Global Micropatterning Committeeで技術的に承認されたもので、Japanese Micropatterning Committeeが直接責任を負うものである。現版は\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2003年4\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月28\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e日Japanese Regional Standard Committee\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eにて承認されている。 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2003年6月にまずwww.semi.org\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003eで入手可能となり、 \u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e2003年7\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e月発行に至る。初版は1996\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e年発行。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e本チェックリストは，基板上の単層レジストの膜厚測定用パラメータを識別する\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e。さ測定に、広く使用されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eそれらは，表面のトポロジーを検出するために，機械的に接触する方法を使用している表面輪郭計測器と，透明膜のみに使用される光干渉法である。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e接触法は，光干渉法より正確度は高いが，測定の精度には限界がある。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e \u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\"\u003e\u003cfont lang=\"JA\" size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこのガイドラインは，リソグラフィプロセスにおける，単層レジストの膜厚測定用パラメーターについて。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e例，これらは，レジストの品質管理のために，ベアシリコンウェーハ露上の光前のレジスト膜厚測定，またはレジストの特性向上決定のために，先に部分露光または全面露光のレジスト膜厚測定である。\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P27-96 (再承認 0703) - 非アクティブ","offer_id":40234354966595,"sku":"11324","price":38100.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_e43cc42e-33a3-48fc-81ea-3870329425c6.png?v=1776701962","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p02700-semi-p27-%e5%9f%ba%e6%9d%bf%e4%b8%8a%e3%81%ae%e3%83%ac%e3%82%b8%e3%82%b9%e3%83%88%e8%86%9c%e5%8e%9a%e3%81%ae%e6%b8%ac%e5%ae%9a%e7%94%a8%e3%83%91%e3%83%a9%e3%83%a1%e3%83%bc%e3%82%bf%e3%83%81%e3%82%a7%e3%83%83%e3%82%af%e3%83%aa%e3%82%b9%e3%83%88","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}