{"product_id":"p02600-semi-p26-parameter-checklist-for-photoresist-sensitivity-measurement","title":"P02600 - SEMI P26 - フォトレジスト感度測定用パラメータチェックリスト","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのチェックリストは世界マイクロパターニング委員会によって技術的に承認されており、日本のマイクロパターニング委員会が直接責任を負います。最新版は、2003 年 4 月 28 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2003 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 7 月に出版予定。初版は 1996 年に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのチェックリストは、フォトレジストの供給者と使用者間のばらつきを避けるために、フォトレジストの感度を測定するためのパラメーターを特定します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドラインの対象となるレジストはポジ型フォトレジストです。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eレジストの供給者と使用者との間の協議では、各パラメータの定量的な値を提供する必要があります。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eSEMI P27 — 基板上のレジスト厚さ測定のパラメータチェックリスト\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P26-0703 - 非アクティブ","offer_id":40234356441155,"sku":"11321","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_aa032667-a51a-4193-8ba1-c8a3bfa3a254.png?v=1776701965","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p02600-semi-p26-parameter-checklist-for-photoresist-sensitivity-measurement","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}