{"product_id":"p02000-semi-p20-guideline-for-catalog-publication-of-eb-resist-parameters-proposal","title":"P02000 - SEMI P20 - EBレジストパラメータのカタログ掲載に関するガイドライン（案）","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドラインは世界マイクロパターニング委員会によって技術的に承認されており、日本のマイクロパターニング委員会が直接責任を負っています。最新版は、2003 年 4 月 28 日に日本の地域標準委員会によって承認されました。最初は 2003 年 6 月に www.semi.org で入手可能でした。 2003 年 7 月に出版予定。初版は 1992 年に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドラインの目的は、EB レジスト パラメータの出版物のベースラインを提供することです。レジストプロセスパラメータを評価するためのガイドとしても使用できます。このガイドラインは、電子ビームプロセスに適用することを目的としています。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e EB レジストのパブリケーションのパラメーターについては、以下で説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P20-0703 - 非アクティブ","offer_id":40234360963139,"sku":"11309","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_0ee2e56a-9743-4b62-baff-9c0e0e6be668.png?v=1776701974","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p02000-semi-p20-guideline-for-catalog-publication-of-eb-resist-parameters-proposal","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}