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SEMI P14 - 黒鉛炉原子吸光分光法によるポジティブフォトレジスト中の錫の測定 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
注意: この翻訳は参考コピーのみです。英語版と他の言語の翻訳との間に差異がある場合、英語版が正式かつ正式なバージョンとなります。
免責事項： このSEMIスタンダードは，投票により作成された英語版が正式なものであり，日本語版は日本の利用者各位の便宜のために作成したものです。ある場合には英語版記載内容が優先されます。
SEMIスタンダード日本語翻訳版をご利用いただく際の注釈を本文の末尾に記載しております（「すべきである」「しなければならない」について等）。
注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。
この手順は，フォトレジスト中の錫に対する黒鉛炉原子吸光分析法を行ったものである。サンプルが1:10で警戒される場合，適用し得る濃度範囲は0.1から1 ppmである。 4つの研究所間における持ちまわり分析において，0.1 ppm以内であることがわかっている。
参照されるSEMI規格なし。
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