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SEMI P8 - フォトレジスト中の水分の測定方法 -
Volume(s):
Microlithography
Language:
Japanese
Type: Single Standards Download (.pdf)
Abstract
この方法は、カール・フィッシャー点滴定をフォトレジスト中の水分の測定に適用しようというものである。電気測定法がエンドポイントを測定するのに使用される。 完全に相溶性であるポリマーと溶剤システムからなるレジストに適用できる。 レジスト製造者は、この手順が問題のレジストに使用し得るかどうか決定するための相談に応じてもよい。
参照されるSEMI規格
なし。
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