{"product_id":"p00100-semi-p1-specification-for-hard-surface-photomask-substrates","title":"P00100 - SEMI P1 - 硬質表面フォトマスク基板の仕様","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e注意: 現在のステータスを維持するための条件が満たされていないため、この規格または安全ガイドラインは非アクティブなステータスになっています。非アクティブな規格または安全ガイドラインは SEMI から入手でき、引き続き使用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e注意: この文書は 2008 年に完全に書き直されました。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの仕様は、硬質表面フォトマスク用のガラス基板の一般的な要件をカバーしています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの文書では、長さ 7 インチまでの正方形のフォトマスクについて説明します。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eこの文書には、次の材料の仕様も記載されています。\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cspan lang=\"EN\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e高熱膨張 (HTE)、\u003c\/font\u003e\u003c\/span\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n \u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e中熱膨張 (MTE)、\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e低熱膨張 (LTE)、\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e合成溶融シリカ (SFS)、\u003c\/font\u003e\u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cli\u003e \u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e193 nm 波長用の耐久性のある合成石英ガラス (DSFS) ガラス。\u003c\/font\u003e \u003c\/li\u003e\n\u003cp\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\n\u003c\/ul\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"left\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cp\u003e\u003cfont\u003e\u003cfont face=\"arial\" size=\"2\"\u003eなし。\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI P1-0708E - 非アクティブ","offer_id":40234364043331,"sku":"11289","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P1-0708 - 置き換えられました","offer_id":40234364108867,"sku":"12945","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P1-1101 - 置き換えられました","offer_id":40234364141635,"sku":"12951","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P1-92 (再承認 0299)E - 置き換えられました","offer_id":40234364174403,"sku":"12956","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P1-92 (再承認 0299) - 置き換えられました","offer_id":40234364207171,"sku":"12955","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI P1-92 - 置き換えられました","offer_id":40234364239939,"sku":"12954","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/PVolume_d2df5b2e-b149-4406-a3e8-4407d64a4f29.png?v=1776701990","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/p00100-semi-p1-specification-for-hard-surface-photomask-substrates","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}