{"product_id":"ms00100-semi-ms1-guide-to-specifying-wafer-wafer-bonding-alignment-targets","title":"MS00100 - SEMI MS1 - ウェハ間接合アライメントターゲットの指定ガイド","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこの規格は、MEMS\/NEMS グローバル技術委員会によって技術的に承認されました。この版は、2017 年 8 月 18 日にグローバル監査およびレビュー小委員会によって発行が承認されました。2018 年 3 月に www.semiviews.org および www.semi.org で入手可能になります。初版は 2006 年 3 月に出版されました。以前は 2012 年 8 月に出版されました。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドは、一対のウェーハの各ウェーハ上に配置されるアライメント ターゲットの寸法、位置、数量、および特性を指定するためのフレームワークを提供します。このようなターゲットは、パターン化された 2 つのウェーハを結合する操作の前に、これらのウェーハを位置合わせするために使用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドは、内面アライメントと外面アライメントという 2 つの一般的なアライメント プロセスで使用できるターゲットに適用されます。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003eこのガイドでは、仕様要件、マークの特性、用途について説明します。\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003cp\u003eSEMI M20 — ウェーハ座標系確立の実践\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI MS1-0307 (Reapproved 0525) - Current","offer_id":43106871181379,"sku":"18506","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MS1-0307 (Reapproved 0318) - Superseded","offer_id":43106871214147,"sku":"8490","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MS1-0307 (再承認 0812) - 置き換えられました","offer_id":40234339827779,"sku":"8692","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MS1-0307 - 置き換えられました","offer_id":40234339860547,"sku":"8691","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MS1-0306 - 置き換えられました","offer_id":40234339958851,"sku":"8690","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MSVolume.png?v=1776702082","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/ms00100-semi-ms1-guide-to-specifying-wafer-wafer-bonding-alignment-targets","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}