{"product_id":"mf104900-semi-mf1049-practice-for-shallow-etch-pit-detection-on-silicon-wafers","title":"MF104900 - SEMI MF1049 - シリコンウェーハの浅いエッチピット検出の実践","description":"\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e高レベルのエッチピットは、ウェーハ処理に有害な金属汚染を示すと報告されています。これは、ウェーハ表面のエッチピットの密度から推測できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの手法は、シリコン エピタキシャル ウェーハまたは研磨ウェーハの表面近くの金属不純物のレベルに関連する可能性がある浅いエッチ ピットを検出するために使用されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e \u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e \u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003eこの実践では、 \u003ci\u003ep\u003c\/i\u003e型または\u003ci\u003en\u003c\/i\u003e型にドープされ、抵抗率が 0.005 Ω× \u003cfont size=\"2\"\u003ecm という低いシリコン ウェーハ上の高密度の浅いエッチ ピットの検出を扱います。この実践は、(111) または (100) 結晶方位で成長した結晶から切り出されたシリコン ウェーハに適用できます。\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの手法は、欠陥密度の評価での使用は推奨されませんが、研磨またはエピタキシャル ウェーハの表面上の欠陥密度と分布を推定する主観的な手段として推奨されます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003e　\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont size=\"2\" face=\"Microsoft Sans Serif\"\u003eこの実践では、熱酸化プロセスに続いて化学優先エッチング剤を使用して、浅いエッチ ピットを作成し、輪郭を描きます。\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont size=\"2\"\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cp dir=\"ltr\" align=\"justify\"\u003e\u003c\/p\u003e\n\n\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cfont face=\"Arial\"\u003e\u003cb\u003e参照されるSEMI規格\u003c\/b\u003e\u003cbr\u003e\u003c\/font\u003e\u003c\/font\u003e \u003cp\u003eSEMI C28 — フッ化水素酸の仕様とガイド\u003cbr\u003eSEMI C54 — 酸素の仕様\u003cbr\u003eSEMI C59 — 窒素の仕様\u003cbr\u003eSEMI M17 — ユニバーサルウェーハグリッドのガイド\u003cbr\u003eSEMI M59 — シリコンテクノロジーの用語\u003cbr\u003eSEMI MF1726 — シリコンウェーハの結晶学的完全性の分析の実践\u003cbr\u003eSEMI MF1727 — 研磨されたシリコンウェーハの酸化誘発欠陥の検出の実践\u003cbr\u003eSEMI MF1809 — シリコンの構造欠陥を描写するためのエッチング溶液の選択と使用に関するガイド\u003cbr\u003eSEMI MF1810 — シリコンウェーハの優先的にエッチングまたは装飾された表面欠陥をカウントするための試験方法\u003cbr\u003e\u003c\/p\u003e","brand":"semi.org","offers":[{"title":"SEMI MF1049-0308 (Reapproved 1123) - Current","offer_id":43106890481731,"sku":"17243","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-0308 (Reapproved 1018) - Superseded","offer_id":43106890514499,"sku":"4917","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-0308 (再承認 0413) - 置き換えられました","offer_id":40234300080195,"sku":"9794","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-0308 - 置き換えられました","offer_id":40234300178499,"sku":"9793","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-1107 - 置き換えられました","offer_id":40234300276803,"sku":"9795","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-0304 - 置き換えられました","offer_id":40234300342339,"sku":"9792","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true},{"title":"SEMI MF1049-02 - 置き換えられました","offer_id":40234300440643,"sku":"9791","price":31900.0,"currency_code":"JPY","in_stock":true}],"thumbnail_url":"\/\/cdn.shopify.com\/s\/files\/1\/0567\/3402\/3747\/files\/MFVolume_58f2fa02-c7e6-47be-916f-ef229efdaae8.png?v=1776702569","url":"https:\/\/store-dev2.semi.org\/ja-jp\/products\/mf104900-semi-mf1049-practice-for-shallow-etch-pit-detection-on-silicon-wafers","provider":"SEMI Dev 2","version":"1.0","type":"link"}